Z6尊龙凯时涉及金刚石芯片!华为又出手了?培育钻石概念大涨
栏目:行业资讯 发布时间:2023-11-25
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 Z6尊龙凯时消息面上,据天眼查显示,近日,华为技术有限公司、哈尔滨工业大学申请的一种基于硅和金刚石的三维集成芯片的混合键合方法专利公布。  天眼查专利摘要显示,本发明涉及芯片制造技术领域,具体而言Z6尊龙凯时,涉及一种基于硅和金刚石的三维集成芯片的混合键合方法。  该方法包括:制备硅基Cu/SiO2混合键合样品和金刚石基Cu/SiO2混合键合样品后进行等离子体活化处理;将经等离子体活化处理后C

  Z6尊龙凯时消息面上,据天眼查显示,近日,华为技术有限公司、哈尔滨工业大学申请的一种基于硅和金刚石的三维集成芯片的混合键合方法专利公布。

  天眼查专利摘要显示,本发明涉及芯片制造技术领域,具体而言Z6尊龙凯时,涉及一种基于硅和金刚石的三维集成芯片的混合键合方法。

  该方法包括:制备硅基Cu/SiO2混合键合样品和金刚石基Cu/SiO2混合键合样品后进行等离子体活化处理;将经等离子体活化处理后Cu/SiO2混合键合样品浸泡于有机酸溶液中Z6尊龙凯时,清洗后吹干;在吹干后的硅基和/或金刚石基Cu/SiO2混合键合样品的待键合表面上滴加氢氟酸溶液,将硅基和金刚石基Cu/SiO2混合键合样品对准贴合进行预键合,得到预键合芯片;将预键合芯片进行热压键合,退火处理,得到混合键合样品对Z6尊龙凯时。本发明实现了以Cu/SiO2混合键合为基础的硅/金刚石三维异质集成。

  值得注意的是,华为申请公布“金刚石芯片”专利(10月27日)至今,概念涨幅已超16%。